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真空密封金属件
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真空密封金属件

2015-08-25 09:24

真空联机密封性能取决于联接处的泄露和真空材料的放气。对任何真空系统总希望漏、放气量与密封形式、密封材料、加工精度及装配质量等诸多因素有关,故在联接处总会存在一定的漏、放气量,因此可根据真空系统工作的性质,真空室工作工作应力的高低及其出口处抽气速度的大小提出要求。

真空系统中的压力在高于10-5Pa真空范围内广泛使用合成橡胶、环氧树脂和塑料。当真空度提到压力10-7Pa的真空范围时,这些密封材料就不能用了,需要应用超高真空的密封材料如金或铜作垫圈,而真空壳体不能用软刚需要改用不锈钢。+ f6 E* b# x. A1 c9 x3 X3 z& P   超真空气体内的气体状态是动态平衡状态。

系统内的压力极限,一方面与泵的有效抽速有关,另一方面与来自真空壳体及其内部的零部件的气流量有关。因虽有系统的有效抽速由于泵有结构尺寸和费用的原因,总存在实际限制。所以,减少气流量就成为达到超高真空状态的基本设计目标,成为选择超高真空材料的主要准则。8 q- D( R3 @2 s4 X; V8 B   作为真空系统内部用的材料,要求饱和蒸汽压低,为了减少慢性解吸和体出气,要求能耐450℃高温烘烤,而不降低机械强度和不发生化学和物理损伤。

作为真空系统壳体材料,要求能忽略气体渗透,承受得住大气压的压力,烘烤期间耐空气侵蚀和不发生漏气。此外,要求选用材料,加工制作容易,价廉易得。  对于真空度低于10-7Pa的超高真空,虽然天然和合成橡胶是理想的密封圈材料,弹性好,装配成真空密封后法兰螺栓受力很小,而且可以多次重复使用。但由于超高真空系统要求密封圈材料耐250℃烘烤,实际上可可供选用的几种橡胶材料都不能满足要求。真空度更高(即压力更低)的超高真空,则必须采用金属密封。
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